「直线电机气浮平台」直线电机气浮平台相关介绍！

    高精度直线电机、直线电机气浮平台、多轴气浮精密平台，在工作中需要实现亚微米运动精度。直线电机气浮精密运动平台研究了气浮导轨设计和直线电机控制的关键技术。采用有限元法对气浮导轨进行了设计。采用该方法设计的气浮导轨具有较高的承载能力和刚度。提出了一种改进的PID控制策略，以提高直线电机运动平台的抗干扰能力，并获得较高的稳态位置精度。实验结果表明，采用这种控制方法后，直线电机悬浮。精密平台定位精度可达到亚微米，甚至纳米级精度要求。

 

   采用双边直线电机驱动的H型气浮精密定位平台，研究了气浮导轨设计方法的关键技术和双边直线电机的同步运动控制。采用有限元法对气浮导轨进行了设计。分析了气膜压力场的分布。采用预压技术提高空气浮导轨的承载能力和刚度。静态特性试验表明，所研制的定位平台气浮导轨具有较高的承载力和刚度。设计了一种改进的基于同步速度偏差的并联结构同步控制器。通过模糊控制实现PID参数的自适应在线整定。运动实验表明，改进后的控制器具有较高的同步控制精度，速度同步精度比一般同步控制高3倍以上，适用于具有强机械耦合的多电机同步运动控制。H型直线电机气浮定位平台具有承载能力强、精度高等优点，可应用于光刻机、光学检测等精密工程领域。

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